Numerical Studies for the Effects of Reactor Geometries on the Flow Field in PECVD Reactor مؤلف البحث Hussein Emad, Yeonchan Kim, Joo-Pyo Hong, Seungkyung Park مؤلف البحث Emad Gamal Barakat Hussein موقع البحث https://koreascience.kr/article/JAKO202516054004950.page سنة البحث 2025